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rF光刻胶树脂创制。这一突破使高端光刻胶树脂的稳定制备不再依赖于极少数国外供应商的“黑箱能力”,为全球芯片材料领域探索出一条可标准化、快速迭代的新路径。原文链接
人民财讯4月21日电,在4月21日召开的2025年年度业绩会上,先锋精科董事长、总经理游利回复陶瓷加热器、光刻机部件研发进展时介绍,公司陶瓷加热器研发按计划有序开展,光刻机零部件已实现部分产品量产交付。
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发现平台,构建了“AI决策+自动化合成”的闭环研发体系,实现了高纯度、高一致性、高效率的KrF光刻胶树脂创制。这一突破使高端光刻胶树脂的稳定制备不再依赖于极少数国外供应商的“黑箱能力”,为全球芯片材料领域探索出一条可标准化、快速迭代的新路径。原文链接
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发布时间:03:07:50